[Å×ũȦ¸¯] ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ ºÎȸÀåÀÌ EUV °³¹ß¶óÀÎÀ» ¹æ¹®ÇØ ÀÓÁ÷¿øµéÀ» °Ý·ÁÇÏ°í ‘¹ÝµµÃ¼ 1µî ±â¾÷ÀÇ ÀںνÉÀ¸·Î µµÀüÇÒ °Í’À» ´çºÎÇß´Ù.
ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ ºÎȸÀåÀº 6ÀÏ ±èµ¿¿¬ ºÎÃѸ®¿Í 'ÇöÀå ¼ÒÅë °£´ãȸ'¸¦ °¡Áø µÚ °ð¹Ù·Î »ï¼ºÀüÀÚ È¼º»ç¾÷Àå ³» ¹ÝµµÃ¼¿¬±¸¼Ò¸¦ ã¾Ò´Ù.
ȼº»ç¾÷ÀåÀ» ¹æ¹®ÇÑ ÀÌÀç¿ë ºÎȸÀåÀº DSºÎ¹® °æ¿µÁøµéÀ» ¸¸³ª °£´ãȸ¸¦ °®°í, ÃÖ÷´Ü ±ØÀڿܼ±(EUV, Extreme Ultra Violet) °³¹ß ¶óÀÎÀ» µÑ·¯º¸¸ç ÇöÀå ÀÓÁ÷¿øµéÀ» °Ý·ÁÇß´Ù.
ÀÌÀç¿ë ºÎȸÀåÀº °£´ãȸ¿¡¼ “4Â÷ »ê¾÷Çõ¸íÀ» ¼±µµÇÏ°í ¹Ì·¡ ¹ÝµµÃ¼ ¼ö¿ä¿¡ ´ëºñÇϱâ À§Çؼ´Â ‘±â¼ú ÃÊ°ÝÂ÷’°¡ ¹Ýµå½Ã À¯ÁöµÅ¾ß ÇÑ´Ù”¸é¼ ‘²÷ÀÓ¾ø´Â Çõ½Å°ú µµÀü’À» ´çºÎÇß´Ù.
À̳¯ ÀÌ ºÎȸÀå°úÀÇ °£´ãȸ¿¡´ÂDSºÎ¹®ÀåÀÎ ±è±â³² »çÀå, ¸Þ¸ð¸®»ç¾÷ºÎÀåÀÎ Áø±³¿µ »çÀå, ÆÄ¿îµå¸®»ç¾÷ºÎÀåÀÎ Á¤Àº½Â »çÀå, ½Ã½ºÅÛLSI»ç¾÷ºÎÀåÀÎ °Àο± »çÀå, ¹ÝµµÃ¼¿¬±¸¼ÒÀåÀÎ °È£±Ô ºÎ»çÀå µîÀÌ Âü¼®Çß´Ù.
°£´ãȸ¸¦ ¸¶Ä£ ÀÌ ºÎȸÀåÀº ¶Ç ¹ÝµµÃ¼ ¿¬±¸¼Ò EUV °³¹ß¶óÀÎÀ» ‘±ô¦ ¹æ¹®’ÇØ ÀÓÁ÷¿øµéÀ» ¸¸³ ÀÚ¸®¿¡¼ “»ï¼ºÀüÀÚ°¡ ¸Þ¸ð¸® ¹ÝµµÃ¼ ±Û·Î¹ú1À§¸¦ 20³â ³Ñ°Ô À¯ÁöÇÏ°í ÀÖ´Â °ÍÀº ÀÓÁ÷¿øµéÀÌ ÇöÀå¿¡¼ ÃÖ°íÀÇ ¿ª·®À» ¹ßÈÖÇÏ°í Àֱ⠶§¹®”À̶ó¸ç “¹ÝµµÃ¼ 1µî ±â¾÷ÀÇ ÀںνÉÀ¸·Î ½ÇÆи¦ µÎ·Á¿öÇÏÁö ¸»°í µµÀüÇØ´Þ¶ó”°í ´çºÎÇß´Ù.
ÇÑÆí Áö³ 2¿ù Âø°øÇÑ È¼º EUV »ý»ê¶óÀÎÀº ³»³â ÇϹݱ⠿ϰøµÅ ¿À´Â 2020³âºÎÅÍ º»°Ý °¡µ¿µÉ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
ÀÌ´Â ÇâÈÄ 7³ª³ë ÀÌÇÏ ÃÖ÷´Ü ¹Ì¼¼°øÁ¤ ±â¼ú Àû¿ëÀ¸·Î »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÇâÈÄ ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼°øÁ¤ ±â¼ú ¸®´õ½ÊÀ» À¯ÁöÇÏ´Â µ¥ ÇÙ½É ¿ªÇÒÀ» ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
ÀÌâȯ ±âÀÚ shineos@techholic.co.kr
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © Å×ũȦ¸¯, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>