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»ï¼ºÀüÀÚ, '»ï¼º ÆÄ¿îµå¸® Æ÷·³ 2019 ÄÚ¸®¾Æ' °³ÃÖ
»ï¼ºÀüÀÚ ÆÄ¿îµå¸®»ç¾÷ºÎ Á¤Àº½Â »çÀåÀÌ 3ÀÏ ¼­¿ï ±×·£µå ÀÎÅÍÄÁƼ³ÙÅ» Æĸ£³ª½º È£ÅÚ¿¡¼­¿­¸° '»ï¼ºÆÄ¿îµå¸® Æ÷·³ 2019 ÄÚ¸®¾Æ' Çà»ç¿¡¼­ ±âÁ¶ ¿¬¼³À» ÇÏ°í ÀÖ´Ù.(»çÁø=»ï¼ºÀüÀÚ)

[Å×ũȦ¸¯] »ï¼ºÀüÀڴ 3ÀÏ ¼­¿ï ±×·£µå ÀÎÅÍÄÁƼ³ÙÅ» Æĸ£³ª½º È£ÅÚ¿¡¼­ '»ï¼º ÆÄ¿îµå¸® Æ÷·³ 2019 ÄÚ¸®¾Æ'¸¦ °³ÃÖÇÏ°í »ï¼ºÀÇ ÆÄ¿îµå¸® ±â¼ú·ÂÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ±¹³» ÆÕ¸®½º ¾÷ü¿Í ÆÄÆ®³Ê°¡ ÇÔ²² ¼ºÀåÇϵµ·Ï ³ë·ÂÇÏ°Ú´Ù°í ¹àÇû´Ù. »ï¼º ÆÄ¿îµå¸® Æ÷·³Àº »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ±¹³»¿Ü ÆÕ¸®½º °í°´°ú ÆijʽºµéÀ» ÃÊûÇØ »ï¼º ÆÄ¿îµå¸®ÀÇ ÃֽŠ±â¼ú ÇöȲ°ú ÀÀ¿ëóº° ¼Ö·ç¼ÇÀ» °øÀ¯ÇÏ°í Çù·Â°ü°è¸¦ °­È­ÇϱâÀ§ÇØ 2016³âºÎÅÍ ¸Å³â Àü¼¼°è¿¡¼­ °³ÃÖÇÏ°í Àִ Çà»ç´Ù.

À̹ø Æ÷·³¿¡´Â À۳⺸´Ù ¾à 40% Áõ°¡ÇÑ 500¸í ÀÌ»óÀÇ ÆÕ¸®½º °í°´°ú ÆÄ¿îµå¸® ÆÄÆ®³Ê°¡ Âü¼®Çß´Ù. ¶ÇÇѠ÷´Ü ÆÄ¿îµå¸® ±â¼ú Æ®·»µå¸¦ °øÀ¯Çϴ Àü½Ã ºÎ½º ¿î¿µ¿¡µµ Âü¿© ±â¾÷ÀÌ 2¹è °¡·® Áõ°¡ÇØ, »ï¼ºÀüÀÚÀÇ '¹ÝµµÃ¼ ºñÀü 2030' ¼±Æ÷ ÀÌÈÄ ³ô¾ÆÁø ±¹³» ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°èÀÇ °ü½ÉÀ» È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù.
 
»ï¼ºÀüÀڴ ¿ÃÇØ 4¿ù, 133Á¶¿ø ÅõÀÚ¿Í 1¸¸ 5,000¸í °í¿ë Ã¢ÃâÀ» ÅëÇØ 2030³â±îÁö ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ ±Û·Î¹ú 1À§¸¦ ´Þ¼ºÇϰڴٴ '¹ÝµµÃ¼ ºñÀü 2030'À» ¼±Æ÷ÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.

»ï¼ºÀüÀڴ À̹ø Æ÷·³¿¡¼­ ÀΰøÁö´É(AI), 5G, ÀüÀå, IoT µî 4Â÷ »ê¾÷Çõ¸í ½Ã´ë¸¦ ÁÖµµÇÒ ÃֽŠEUV(Extreme Ultra Violet, ±ØÀڿܼ±)°øÁ¤ ±â¼úºÎÅÍ ÀúÀü·Â FD-SOI, 8ÀÎÄ¡ ¼Ö·ç¼Ç±îÁö Æø ³ÐÀº ÆÄ¿îµå¸® Æ÷Æ®Æú¸®¿À¸¦ ¼Ò°³Çß´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ ÆÄ¿îµå¸®»ç¾÷ºÎ Á¤Àº½Â »çÀåÀº ±âÁ¶¿¬¼³¿¡¼­ "»ï¼ºÀüÀڴ ¹ÝµµÃ¼ ºÒ¸ðÁö¿¡¼­ »ç¾÷À» ½ÃÀÛÇØ ¿ª°æÀ» µó°í ¾÷°è 1À§¿¡ ¿À¸¥ °æÇèÀÌ ÀÖ´Ù.”¸ç, “ÆÄ¿îµå¸® ºÐ¾ßÀÇ ÃÖ°í¸¦ ÇâÇÑ ¿©Á¤µµ ½±Áö ¾Ê°ÚÁö¸¸ ³­°üÀ» ÇìÄ¡°í ÇÔ²² ¼ºÀåÇØ ³ª°¥ ¼ö ÀÖ°Ô °ü½É°ú ÀÀ¿øÀ» ºÎŹ µå¸°´Ù"°í ¸»Çß´Ù.

¶ÇÇÑ "±¹³» ÆÕ¸®½º ±â¾÷µéÀÌ ½Å½ÃÀåÀ» ºñ·ÔÇÑ ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß¿¡¼­ È°¾àÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï µðÀÚÀΠ¼­ºñ½º, Á¦Á¶, ÆÐÅ°Áö µî °³¹ßºÎÅÍ ¾ç»ê±îÁö Çù·Â »ýÅ°踦 È°¼ºÈ­ÇØ ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ ¹ßÀü¿¡ ±â¿©ÇÏ°Ú´Ù" °í ¹àÇû´Ù.

»ï¼ºÀüÀڴ ±¹³» Áß¼Ò ÆÕ¸®½º ±â¾÷µéÀÇ ¼ö¿ä°¡ ³ôÀº 8ÀÎÄ¡ ¿þÀÌÆÛ °øÁ¤°ú ¿À·£ ±â°£ °í°´µé·ÎºÎÅÍ °ËÁõÀÌ ¿Ï·áµÈ 12ÀÎÄ¡ ¿þÀÌÆÛ °øÁ¤ µî ¾÷°è ÃÖ°í ¼öÁØÀÇ ±â¼ú·ÂÀ» ÅëÇØ °í°´ÀÇ ´Ù¾çÇÑ ¿ä±¸¸¦ ¸¸Á·½ÃÅ°°íÀÚ ³ë·ÂÇÏ°í ÀÖ´Ù.

ÆÕ¸®½º ¹ÝµµÃ¼ ¾÷ü ÅÚ·¹Ä¨½ºÀÇ ÀÌÀå±Ô ´ëÇ¥´Â “¿ÃÇØ ½º¹«»ìÀÌ µÈ ÅÚ·¹Ä¨½º´Â »ï¼ºÀÇ ÆÄ¿îµå¸® ±â¼ú ¹ßÀü°ú ÇÔ²² ¼ºÀåÇØ ¿Ô´Ù°í Çصµ °ú¾ðÀÌ ¾Æ´Ï´Ù”¸ç, “¶Ù¾î³­ Á¦Ç°À¸·Î ½ÃÀå °æÀï·ÂÀ» ´õ¿í ³ô¿© °¡±â À§ÇØ ÇöÀç Çù·Â ÁßÀΠ14³ª³ë¿¡ À̾î 10³ª³ë¹ÌÅÍ ÀÌÇÏ ¹Ì¼¼ °øÁ¤¿¡¼­µµ ÅºÅºÇÑ Çù·ÂÀ» À̾ª°¥ °èȹÀÌ´Ù”¶ó°í ¸»Çß´Ù.

»ï¼ºÀüÀڴ ±¹³» ÆÕ¸®½º ±â¾÷¿¡°Ô 7³ª³ë ÀÌÇÏ EUV ±â¹Ý Ãʹ̼¼ °øÁ¤µµ Àû±Ø Á¦°øÇØ Â÷¼¼´ë Ã·´Ü Á¦Ç° °³¹ßÀ» Áö¿øÇÔÀ¸·Î½á ±¹³» ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ °æÀï·Â È®º¸¿¡µµ ±â¿©ÇØ ³ª°¥ °èȹÀÌ´Ù.

¶ÇÇÑ ÆÕ¸®½º °í°´µéÀÌ »ï¼ºÀÇ ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤ ±â¼ú°ú ¼­ºñ½º¸¦ º¸´Ù ½±°Ô È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ¹ÝµµÃ¼ µðÀÚÀÎÇϿ콺(¹ÝµµÃ¼ ¼³°è¾÷ü°¡ Á¦Ç°À» ¼³°èÇϸé À̸¦ ÆÄ¿îµå¸® ¼­ºñ½º¸¦ È°¿ëÇØ Á¦Á¶ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï Ä¨ µðÀÚÀÎÀ» Áö¿øÇϴ ¿ªÇÒÀ» ÇÑ´Ù)¸¦ ºñ·ÔÇØ ¼³°èÀÚ»ê(IP), ÀÚµ¿È­ ¼³°è Åø(EDA), Á¶¸³Å×½ºÆ®(OSAT)±îÁö ±¹³» ÆÄ¿îµå¸® ÆÄÆ®³Êµé°ú Çù·ÂÀ» È®´ëÇØ ³ª°¥ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.

ÇÑÆí »ï¼ºÀüÀڴ 2019³â 4¿ù, ÀúÀü·Â 28³ª³ë FD-SOI °øÁ¤ ±â¹Ý eMRAM ¼Ö·ç¼Ç Á¦Ç°°ú EUV ³ë±¤ ±â¼úÀ» Àû¿ëÇØ ¼º´É°ú ¼öÀ²À» ³ôÀΠ7³ª³ë ÇÉÆê Á¦Ç°À» ÃâÇÏ¿Í Â÷¼¼´ë 5³ª³ë °øÁ¤ °³¹ßÀ» °ø°³Çϴ µî ÆÄ¿îµå¸® ±â¼úÀ» ¼±µµÇÏ°í ÀÖ´Ù.

EUV ³ë±¤ ±â¼úÀ̶õ ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ÀÌ 10³ª³ë ÀÌÇϷΠÁ¢¾îµé¸é¼­ ºÒÈ­¾Æ¸£°ï(ArF) ±¤¿øÀ» »ç¿ëÇϴ ±âÁ¸ÀÇ ³ë±¤ °øÁ¤Àº ÇÑ°è¿¡ À̸£·¶´Ù. EUV´Â ºÒÈ­¾Æ¸£°ïÀ» ´ëüÇÒ ¼ö Àִ ±¤¿øÀ¸·Î ÆÄÀåÀÇ ±æÀÌ°¡ ±âÁ¸ ºÒÈ­¾Æ¸£°ïÀÇ 1/14 ¹Ì¸¸¿¡ ºÒ°úÇØ º¸´Ù ¼¼¹ÐÇÑ ¹ÝµµÃ¼ È¸·Î ÆÐÅÏ ±¸Çö¿¡ ÀûÇÕÇÏ°í, º¹ÀâÇÑ ¸ÖƼ ÆÐÅÍ´× °øÁ¤À» ÁÙÀÏ ¼ö À־ݵµÃ¼ÀÇ °í¼º´É°ú »ý»ê¼ºÀ» µ¿½Ã¿¡ È®º¸ÇÒ ¼ö Àִ ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù.

ƯÈ÷ Àü·ù°¡ È帣´Â Åë·ÎÀΠ¿øÅëÇü Ã¤³Î(Channel) Àüü¸¦ °ÔÀÌÆ®(Gate)°¡ µÑ·¯½Î Àü·ùÀÇ È帧À» ´õ ¼¼¹ÐÇÏ°Ô Á¦¾îÇÒ ¼ö Àִ Â÷¼¼´ë Æ®·£Áö½ºÅÍ ±¸Á¶ÀÇ 3³ª³ë GAE(3³ª³ë Gate-All-Around Early) °øÁ¤ ¼³°è Å°Æ®(PDK v0.1, Process Design Kit)¸¦ ÆÕ¸®½º °í°´¿¡°Ô ¹èÆ÷Çϱ⵵ Çß´Ù.

À̽ÂÇÊ ±âÀÚ  thtower1@techholic.co.kr

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