[Å×ũȦ¸¯] ¹ÝµµÃ¼ µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë Ư¼ö°¡½º Àü¹® ±â¾÷ SK¸ÓƼ¸®¾óÁî(´ëÇ¥ÀÌ»ç Àå¿ëÈ£)°¡ 28ÀÏ °æºÏ ¿µÁֽà º»»ç¿¡ ÅëÇպм®¼¾Å͸¦ ±¸ÃàÇÏ°í ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ¿¬±¸°³¹ß ¿ª·®À» °ÈÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù.
SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ÀÌ °íÁýÀûÈ, Ãʹ̼¼È·Î ÁøÈÇÏ¸é¼ º¸´Ù Àü¹®ÀûÀÌ°í °íµµÈ µÈ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ºÐ¼® ´É·ÂÀ» ¿ä±¸ÇÏ´Â ½ÃÀå È帧¿¡ ºÎÇÕÇÏ°íÀÚ À̹ø ÅëÇպм®¼¾ÅÍ ¼³¸³À» ÃßÁøÇÏ°Ô µÆ´Ù.
Áö³ 8¿ù »êÇп¬ Àü¹®°¡¿ÍÀÇ °øµ¿ ¿¬±¸¸¦ ÅëÇØ »õ·Î¿î ºñÁî´Ï½º ¸ðµ¨À» ¹ß±¼ÇÏ´Â ‘IT ¼ÒÀç ¼Ö·ç¼Ç Ç÷§Æû’À» Ãâ¹üÇß´ø SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â ÅëÇպм®¼¾ÅÍ ±¸ÃàÀ» ÅëÇØ ¼ÒÀç ºÐ¼® ¿ª·®À» ±Ø´ëÈÇÏ°íÀÚ Çß´Ù.
SK¸ÓƼ¸®¾óÁî°¡ ¿¬±¸°³¹ß ¿ª·® °È¸¦ À§ÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ÅëÇպм®¼¾Å͸¦ ±¸ÃàÇß´Ù. SK¸ÓƼ¾óÁî´Â °æºÏ ¿µÁֽà º»»ç¿¡¼ Ãâ¹ü½ÄÀ» ¿°í ÅëÇպм®¼¾ÅÍ È°¼ºÈ ¹æ¾ÈÀ» ³íÀÇÇß´Ù. SK¸ÓƼ¸®¾óÁî ¹Ú±â¼± ¿¬±¸°³¹ßº»ºÎÀåÀÌ Ãâ¹ü½Ä¿¡¼ Àλ縻À» ÇÏ°í ÀÖ´Ù.(»çÁø=SK¸ÓƼ¸®¾óÁî) |
ÅëÇպм®¼¾ÅÍ¿¡¼´Â SK¸ÓƼ¸®¾óÁîÀÇ ÁÖ·Â Á¦Ç°ÀÎ »ïºÒÈÁú¼Ò(NF3), À°ºÒÈÅÖ½ºÅÙ(WH6) µîÀ» ºñ·ÔÇÑ Æ¯¼ö°¡½º´Â ¹°·Ð, ¹ÝµµÃ¼ ¹Ú¸·ÁõÂø °øÁ¤¿¡ ¾²ÀÌ´Â Àü±¸Ã¼(Precursor:¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î À§¿¡ ¿©·¯ ÈÇÕ¹°À» ±ÕÀÏÇÏ°Ô ÁõÂø½ÃÅ°´Â Ư¼ö°¡½º)¿Í ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿ë ¿þÆ® ÄɹÌÄ®(Wet Chemical:¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿¡ »ç¿ëµÇ´Â °í°´ ƯÈÇü ¼¼Á¤¾×, ½Ä°¢¾× µîÀ» ÅëĪ)¿¡ ´ëÇÑ Á¤¹Ð ºÐ¼®À» ¼öÇàÇÏ¿© °í°´»ç ´ÏÁî¿¡ ¸Â´Â Á¦Ç° °ø±Þ¿¡ ±â¿©ÇÒ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.
»ïºÒÈÁú¼Ò(NF3)´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼ è¹ö(Chamber) ³» ºÒ¼ø¹°À» Á¦°ÅÇÏ´Â ¼¼Á¤¿ë Ư¼ö°¡½º·Î SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â ¼¼°è ½ÃÀå Á¡À¯À² 40% ÀÌ»óÀ» Â÷ÁöÇÏ¸ç »ý»ê ¹× ÆǸŠ¼¼°è 1À§¸¦ ±â·ÏÇÏ°í ÀÖ´Ù.
À°ºÒÈÅÖ½ºÅÙ(WH6) Àº ¹ÝµµÃ¼ ¹Ú¸·ÁõÂø °øÁ¤¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â Ư¼ö°¡½º¸¦ ¸»ÇÑ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ ¹Ú¸·ÁõÂø °øÁ¤À̶õ ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î °£ÀÇ ±¸ºÐ, ¿¬°á, º¸È£ ¿ªÇÒÀ» ÇÏ´Â ¾ãÀº Ãþ ÇüÅÂÀÇ ‘¹Ú¸·’À» ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ À§¿¡ ±ÕÀÏÇÏ°Ô ½×´Â(ÁõÂøÇÏ´Â) °øÁ¤À» ¶æÇÑ´Ù.
¶ÇÇÑ Çѱ¹Ç¥ÁØ°úÇבּ¸¿ø, Çѱ¹ºÐ¼®°úÇÐȸ µî ¿¬±¸±â°ü°úÀÇ Çù·ÂÀ» ÅëÇØ ½Å±Ô ¼ÒÀç¿¡ ´ëÇÑ ºÐ¼® ¹æ¹ýÀ» ¼±Á¦ÀûÀ¸·Î È®º¸ÇÏ¿© ÀûÀýÇÑ ½Ã±â¿¡ ½ÅÁ¦Ç°À» °³¹ßÇÏ°í »ç¾÷À» ¿øÈ°ÇÏ°Ô ÃßÁøÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï Áö¿øÇÒ °èȹÀÌ´Ù. ÀÌ¿Í ÇÔ²² SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â SKÀ̳뺣À̼Ç, SKÄɹÌÄ®, SKC µî ±×·ì ³» ÈÇÐ »ê¾÷ °è¿»ç¿Í Çù¾÷ ³×Æ®¿öÅ©¸¦ ¸¸µé¾î ¼ÒÀç ºÐ¼® ¿ª·®À» °íµµÈ ÇØ ³ª°¥ ¹æħÀÌ´Ù.
ƯÈ÷ SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â Á¦Ç° °³¹ß°ú »ç¾÷È¿¡ ¾î·Á¿òÀ» °Þ´Â Áß¼Ò±â¾÷À» ´ë»óÀ¸·Î ¼ÒÀç ºÐ¼® ÄÁ¼³ÆÃÀ» Á¦°øÇÏ°í, ´©±¸³ª ÀÌ¿ë °¡´ÉÇÑ ¿ÀÇ ·¦(Open Lab) ¿î¿µÀ» ÅëÇØ SK¸ÓƼ¸®¾óÁî°¡ º¸À¯ÇÑ ºÐ¼®¼³ºñ ÀÎÇÁ¶ó¸¦ °øÀ¯ÇÔÀ¸·Î½á Áß¼Ò±â¾÷°úÀÇ »ó»ýÀ» ½ÇõÇÏ´Â »çȸÀû °¡Ä¡µµ âÃâÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÏ°í ÀÖ´Ù.
SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â ÅëÇպм®¼¾Å͸¦ ÅëÇØ ³»ÀçÈ µÈ ºÐ¼® ±â¼ú ¿ª·®À» ±â¹ÝÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ±¹»êÈ ¹× ģȯ°æ ´ëü ¼ÒÀç °³¹ß¿¡µµ ´õ¿í ¹ÚÂ÷¸¦ °¡ÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â 28ÀÏ °æºÏ ¿µÁֽà º»»ç¿¡¼ ¹Ú±â¼± ¿¬±¸°³¹ßº»ºÎÀåÀ» ºñ·ÔÇÑ ÀÓÁ÷¿ø°ú ¿¬±¸±â°üÀå, Çù·Â¾÷üÀå µî ÁÖ¿ä °ü°èÀÚµéÀÌ Âü¼®ÇÑ °¡¿îµ¥ ÅëÇպм®¼¾ÅÍ Ãâ¹ü½ÄÀ» ¿°í »óÈ£ Çù·Â ¹× È°¼ºÈ ¹æ¾ÈÀ» ³íÀÇÇß´Ù.
SK¸ÓƼ¸®¾óÁî ¿¬±¸¿øµéÀÌ °æºÏ ¿µÁֽà º»»ç¿¡ À§Ä¡ÇÑ ºÐ¼®¼¾ÅÍ¿¡¼ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ »ç¿ëÇϴ Ư¼ö°¡½º¸¦ Á¤¹Ð ºÐ¼®ÇÏ°í ÀÖ´Ù.(»çÁø=SK¸ÓƼ¸®¾óÁî) |
¹Ú±â¼± º»ºÎÀåÀº “ÅëÇպм®¼¾ÅÍ¿¡¼ ÃßÁøÇÏ´Â ºÐ¼® ±â¼ú ¿¬±¸¿Í Áß¼Ò±â¾÷ ¹× ´Ù¾çÇÑ ±â°ü°úÀÇ »ó»ý Çù·Â ³ë·ÂÀÌ ±¹³» ¼ÒÀç »ê¾÷ °æÀï·Â Çâ»ó¿¡ ±â¿©ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù”¸ç “»ê¾÷ Æз¯´ÙÀÓ º¯È¿¡ Àû±Ø ´ëÀÀÇÏ°í, Â÷º°È µÈ ºÐ¼® ¼ºñ½º ¿ª·®À» °®Ãá ¼ÒÀç ±â¾÷À¸·Î °Åµì³ª±â À§ÇØ ÃÖ¼±À» ´ÙÇÏ°Ú´Ù”°í ¸»Çß´Ù.
#SK¸ÓƼ¸®¾óÁî #¹ÝµµÃ¼ #ÅëÇպм®
À̽ÂÇÊ ±âÀÚ thtower1@techholic.co.kr
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © Å×ũȦ¸¯, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>