[Å×ũȦ¸¯] ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ ºÎȸÀåÀÌ ÃÖ±Ù °¡µ¿ÇÑ °æ±âµµ ȼº ±ØÀڿܼ±(EUV) ÆÄ¿îµå¸®(¹ÝµµÃ¼ ¼öŹ»ý»ê) Àü¿ë¶óÀÎÀ» Á¡°ËÇß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â 20ÀÏ ÀÌ ºÎȸÀåÀÌ È¼º»ç¾÷ÀåÀ» ã¾Æ ÀÌ´Þ º»°Ý °¡µ¿À» ½ÃÀÛÇÑ EUV Àü¿ë ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¶óÀÎÀ» Á÷Á¢ »ìÆ캸°í ÀÓÁ÷¿øµéÀ» °Ý·ÁÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù. EUV °øÁ¤Àº ÆÄÀåÀÌ ÂªÀº ±ØÀڿܼ± ±¤¿øÀ» »ç¿ëÇØ ¿þÀÌÆÛ(¹ÝµµÃ¼¿øÆÇ)¿¡ ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¸¦ »õ±â´Â ±â¼úÀÌ´Ù. ±âÁ¸ÀÇ ºÒȾƸ£°ï(ArF) ¹æ½Äº¸´Ù ¼¼¹ÐÇÑ È¸·Î ±¸ÇöÀÌ °¡´ÉÇØ 10³ª³ë ÀÌÇÏ Ãʹ̼¼°øÁ¤¿¡ ÀûÇÕ, °í¼º´É·ÀúÀü·Â ¹ÝµµÃ¼¸¦ ¸¸µå´Âµ¥ ÇʼöÀûÀ¸·Î Æò°¡¹Þ°í ÀÖ´Ù.
ÀÌ ºÎȸÀåÀÌ ¹æ¹®ÇÑ 'V1 ¶óÀÎ'Àº »ï¼ºÀüÀÚÀÇ Ã¹ EUV Àü¿ë ¶óÀÎÀÌ´Ù. V1 ¶óÀο¡¼´Â ÃÖ±Ù ¾ç»ê¿¡ µé¾î°£ 7³ª³ë ÀÌÇÏ ¹ÝµµÃ¼¸¦ »ý»êÇÑ´Ù. ¶Ç, ÇâÈÄ »ï¼ºÀüÀÚÀÇ Â÷¼¼´ë ÆÄ¿îµå¸® Á¦Ç°À» ÁÖ·ÂÀ¸·Î »ý»êÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
ÀÌ ÀÚ¸®¿¡¼ ÀÌ ºÎȸÀåÀº "Áö³ÇØ ¿ì¸®´Â ÀÌ ÀÚ¸®¿¡ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ¼¼°è 1µîÀÇ ºñÀüÀ» ½É¾ú°í, ¿À´ÃÀº ±ä ¿©Á¤ÀÇ Ã¹ ´ÜÃ߸¦ ²ç¾ú´Ù"¸ç "ÀÌ°÷¿¡¼ ¸¸µå´Â ÀÛÀº ¹ÝµµÃ¼¿¡ Àηù»çȸ °øÇåÀ̶ó´Â ²ÞÀÌ ´ã±æ ¼ö ÀÖµµ·Ï µµÀüÀ» ¸ØÃßÁö ¸»ÀÚ"°í ¸»Çß´Ù.
¾Õ¼, »ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³ÇØ 4¿ù ȼº»ç¾÷Àå¿¡¼ ¹®ÀçÀÎ ´ëÅë·ÉÀÌ Âü¼®ÇÑ °¡¿îµ¥ 2030³â±îÁö ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ºÐ¾ß¿¡ 133Á¶¿ø ÅõÀÚ¿Í 1¸¸5000¸í ä¿ëÇØ ÆÄ¿îµå¸® ¼¼°è 1À§¸¦ ¸ñÇ¥·Î ÇÏ´Â '¹ÝµµÃ¼ ºñÀü 2030'À» ¹ßÇ¥Çß´Ù.
#»ï¼ºÀüÀÚ #ÀÌÀç¿ë #EUV #ÆÄ¿îµå¸®
ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ ºÎȸÀå(»çÁø=»ï¼ºÀüÀÚ) |
À̽ÂÇÊ ±âÀÚ thtower1@techholic.co.kr
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © Å×ũȦ¸¯, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>